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光刻加工

光刻技能(photolithography)是一种图形复印技能,是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技能。
光刻才能:使用电子束光刻、步进式光刻、打仗式紫外光刻,多种技能相联合图形较 小线宽可达8nm。可制造大于8nm线宽的任何庞大图形。